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发布时间: 2021-08-10 02:30

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  优选不足35重量%,相当优选刚到20重量%,更优选接近10重量%。表面活性剂减少蚀刻液的表面张力,改善对被蚀刻物上的图形的浸润性。尤其是在被蚀刻物具备在半导体器件研发设计基板或液晶元件基板这样的微细图形时,通过改善蚀刻液对图形的浸润性,能够做到均匀的蚀刻。由于本发明的蚀刻液呈酸性,所以作为表面活性剂以在酸性下不分解为好。表面活性剂的添加量相对蚀刻液总重量大致等于0.001重量%,优选多于0.01重量%,比较优选等于0.1重量%,更优选高于0.2重量%,一般接近1重量%,优选不足0.5重量%。蚀刻液中水的浓度大致等于1重量%,基本不到20重量%。通常在含和磷酸的蚀刻液内,可以说作为使金属表面氧化的氧化剂起作用。

  2. 提高板子与板子之间蚀刻速率的一致性 在连续的板子蚀刻中,蚀刻速率越一致,越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求,必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿,蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量,PH值,溶液的浓度,温度,溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。 3. 高整个板子表面蚀刻速率的均匀性 板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的,板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的改善可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同,板前沿和板后端间歇蚀刻的办法,达到整个板面的蚀刻均匀性。 4. 提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力 在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时,板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以,蚀刻内层板的设备必须保证能平稳的,可靠地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。更好的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必须保证不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端,有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。 5. 减少污染的问题 铜对水的污染是印制电路生产中普遍存在的问题,氨碱蚀刻液的使用更加重了这个问题。因为铜与氨络合,不容易用离子交换法或碱沉淀法除去。所以,采用第二次喷淋操作的方法,用无铜的添加液来漂洗板子,大大地减少铜的排出量。然后,再用空气刀在水漂洗之前将板面上多余的溶液除去,从而减轻了水对铜和蚀刻的盐类的漂洗负担。

  其特征在于,通过下列的(a)及(b)工序,实施磷酸浓度的测定:首先,对蚀刻后的蚀刻液实施干燥,除去和醋酸;之后,通过中和滴定说明磷酸的浓度,在此期间,把直到磷酸的第1拐点的滴定量2倍的量看作成直到磷酸的第2拐点的滴定量,算出磷酸的浓度。本发明的第4要旨在于不包括因蚀刻而离子化的被蚀刻金属的蚀刻液的定量说明方法,它是包括和磷酸,不包括因蚀刻发生离子化的被蚀刻金属、在金属蚀刻过程中选用的蚀刻液的定量介绍方法,其特征在于,的浓度通过紫外吸光光度法定量,磷酸的浓度由混酸液干燥后的中和滴定法定量,醋酸的浓度从合计酸当量扣除当量和憐酸当量算出的。本发明的第5要旨在于从金属蚀刻选用的蚀刻液中回收磷酸的方法,其特征在于。

  氧化工段及后处理工段的设计 对于袖珍型氧化线,如果把氧化工段和后处理工段单独进行摆放,占地面积会比较大.所以可把这两个工段先各自设计,然后再统一进行组合摆放。铝合金蚀刻加工小型氧化线设计步骤之氧化工段基本流程:氧化~二次水洗一常温封孔~二次水洗一于燥。在这一工段为了简化线路,取消了中和工序。只要注意封孔前的水洗工作,不用中和也可以。 ①氧化缸的设计。按每次加工100^-150dm2有效面积进行设计,按每1000L溶液负载270dm2计算,需550L电解液,取600L。工作缸大小:长1200mm,宽50mm,高1200mm,液面高1000mm,氧化缸用15-20mm的pp或硬PVC塑胶板制作。 ②水洗缸的设计。可参处理工段所用水洗缸的方法。 ③常温封孔缸的设计.可参考氧化缸进行设计,也可以用合适的胶桶代替,其多少根据需要而定,用2-3个比较合适。

  在蚀刻液内添加、磷酸和醋酸的新液,使蚀刻液中的酸成分对应浓度值一定,能够让蚀刻速度回到蚀刻开始时的值。总之,提供可以形成与蚀刻液环比部分等效的溶解铝中选用消耗部分相抵的酸成份对应浓度的及磷酸。此外,也考虑通过分别取出而环比降低的醋酸等的酸或另外成份的补充而供给新蚀刻液。除此以外,缘于通过按期地抽出蚀刻液的少部分,也一样要调节蚀刻液中摩尔数的上扬,因而,可不对蚀刻液的全量实施交换地连续蚀刻。蚀刻液中溶解铝浓度也会需要在蚀刻槽(1)的外部推荐,也可以让用从被蚀刻物(4)等的处理个数等的质量平衡推算的值。蚀刻液的温度在基本高于20°C,优选多于25°C,基本接近50°C,优选不足40°的范围。但凡在磷酸不蒸发的条件下。

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